泛结构化微机电系统集成设计方法 苑伟政,常洪龙 编PDF

 内容提要

《泛结构化微机电系统集成设计方法》提出和建立了泛结构化微机电系统集成设计方法,系统性地论述了其理论体系和关键技术。本方法是在对当前微机电系统集成设计工具的体系结构、基础理论、关键技术及发展趋势等方面进行归纳和总结的基础上,提出的一种新的方法和理论,是对当前通用的微机电系统结构化设计方法的重要发展和提高。依据本方法实现了国产微机电系统集成设计工具(MEMSGarden),并结合大量典型和复杂MEMS器件实例验证了本方法和设计工具的实用性和先进性。

《泛结构化微机电系统集成设计方法》可供微机电系统相关学科的科研人员参考。

泛结构化微机电系统集成设计方法

目录

章绪论

1.1微机电系统简介

1.2微机电系统设计工具及设计方法简介

1.3结构化MEMS设计方法及面临的挑战

1.4泛结构化MEMS集成设计方法的提出

1.5小结

参考文献

第2章泛结构化MEMS集成设计方法的理论体系

2.1引言

2.2集成设计体系

2.3分层设计体系

2.4柔性设计体系

2.5创成设计体系

2.6三维设计体系

2.7小结

参考文献

第3章分层设计体系及实现技术

3.1引言

3.2系统级设计

3.3器件级设计

3.4工艺级设计

3.5小结

参考文献

第4章柔性设计体系及实现技术

4.1引言

4.2系统级网表到工艺级二维版图的转换方法

4.3系统级网表到器件级三维实体的转换方法

4.4器件级三维实体到工艺级二维版图的转换方法

4.5器件级到系统级的宏建模转换方法

4.6工艺级二维版图到器件级三维实体的转换方法

4.7工艺级二维版图到系统级模型的转换方法

4.8小结

第5章创成设计体系及实现技术

5.1引言

5.2系统级创成式设计

5.3器件级创成式设计

5.4工艺级创成式设计

5.5小结

参考文献

第6章宏建模方法及应用

6.1引言

6.2模型降阶的数学描述

6.3线性MEMS系统宏建模方法

6.4几何非线性MEMS系统宏建模方法

6.5多域耦合MEMS宏建模方法

6.6参数化模型降阶方法

6.7宏建模方法的应用

6.8小结

参考文献

第7章三维设计体系及实现技术

7.1引言

7.2系统级的三维设计

7.3器件级的三维设计

7.4工艺级的三维设计

7.5小结

参考文献

第8章集成设计体系及实现技术

8.1引言

8.2集成设计工具的架构

8.3集成设计环境的实现

8.4小结

第9章设计工具应用及器件设计实例

9.1引言

9.2平面解耦式z轴陀螺

9.3音叉电容式微机械陀螺

9.4平面单轴加速度计

9.5z轴加速度计

9.6微型压力传感器

9.7小结

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