内容简介
《微机电系统工程基础》可供高等学校相关专业高年级选做本科教育教材，也可以供感兴趣的研究生、科研人员参考之用。 [1] 微机电系统是20世纪末兴起，并在21世纪初开始快速发展的高科技前沿领域。其所涉及领域不断扩大，相关研究也日趋深入。《微机电系统工程基础》主要介绍相关的工程基础知识。《微机电系统工程基础》共11章，较为详细地介绍了半导体制作工艺、执行器、微系统的工作机理及制作方法和应用范围、各种新发展的微检测技术、微系统设计、建模方法和应注意的事项等，还重点介绍了微机电系统的固体力学、微流体力学和微尺度传热的基础知识，分析了微系统中的工程特点，与传统工程科学的区别，传统理论在微机电系统应用中所受到的限制及其修正，微机电系统中常见的失效方式及其应对原则等。
目录
前言
第1章 微机电系统概述
第2章 微机电系统的制作(上)
第3章 微机电系统的制作(下)
第4章 常见的微型器件(上)——几种典型的微传感器及其工作原理
第5章 常见的微型器件(中)——几种典型的微执行器及其工作原理
第6章 常见微型器件(下)——几种典型的微结构和微系统
第7章 微检测技术
第8章 微机电系统相关的固体力学基础知识
第9章 微机电系统的设计和建模
第10章 微尺度流体力学的相关基础知识
第11章 微尺度传热基础知识
参考文献
