纳机电基础效应与器件 [张文栋等著] 2011年版PDF

  内容简介 《纳机电基础效应与器件》系统地论述了纳机电器件的基本概念、尺度效应和耦合问题,纳机电器件基础结构的制造、测试和表征方法,并对纳机电加速度传感器、纳机电声传感器、纳机电...
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