内容简介
该书分析和阐述传输线、天线、可调电感、可变电容、开关、滤波器、移相器等核心器件的基本原理、主要类型、设计方法、加工技术、性能测试和典型应用等，为读者勾勒出射频微机电系统技术较为全面的技术基础、研究现状和发展趋势
目录
封面
射频微机电系统的理论、设计、制备及应用
内容简介
编委会
《微纳制造的基础研究学术著作丛书》序
前言
第一章 RF MEMS
第二章 RF MEMS设计与仿真
第三章 RF MEMS传输线
第四章 RF MEMS电感
第五章 RF MEMS可变电容
第六章 RF MEMS开关
第七章 RF MEMS滤波器
第八章 RF MEMS移相器
第九章 RF MEMS天线
第十章 RF MEMS封装
索引
封底 [1]
